翻板閥
為維持爐室中的局部壓力溫度等工藝條件,設(shè)置了隔離閥。關(guān)閉此閥后, 可以打開副室,從而裝卸籽晶或取單晶。 翻板閥前部觀察口用于觀察翻板閥的狀況。翻板閥右側(cè)有一真空壓力表, 為拉晶過程中更換籽晶時(shí)向副室充入氬氣時(shí)顯示壓力。翻板閥是否開關(guān)到位可通過左側(cè)標(biāo)記來判定。
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