翻板閥
為維持爐室中的局部壓力溫度等工藝條件,設置了隔離閥。關(guān)閉此閥后, 可以打開(kāi)副室,從而裝卸籽晶或取單晶。 翻板閥前部觀(guān)察口用于觀(guān)察翻板閥的狀況。翻板閥右側有一真空壓力表, 為拉晶過(guò)程中更換籽晶時(shí)向副室充入氬氣時(shí)顯示壓力。翻板閥是否開(kāi)關(guān)到位可通過(guò)左側標記來(lái)判定。
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